Hana ʻia ka Fused Quartz Pedestal mai Semicera e hāʻawi i ke kākoʻo like ʻole a me ke kūpaʻa i nā noi wela kiʻekiʻe. Hana ʻia maiquartz maʻemaʻe kiʻekiʻe, He kūpono kēia paepae no nā kaʻina semiconductor, me ka diffusionwaferkaʻina hana a me ka LPCVD. ʻO kona kūpaʻa wela kūʻokoʻa a me ka lōʻihi o ke kemika e lilo ia i koho kūpono no nā kaiapuni koi.
Ma Semicera, hoʻokumu mākou i ka maikaʻi, e hōʻoia i ka hoʻokō ʻana o kā mākou huahana aniani quartz fused i nā kūlana kiʻekiʻe. ʻAʻole hoʻomaikaʻi wale ka quartz pedestal i ka hana akā hāʻawi pū kekahi i kahi hopena kūpono no ka poʻe e ʻimi nei i nā koho aniani silica fused hilinaʻi. Inā makemake ʻoe ia no nā noi semiconductor quartz a i ʻole nā mea hoʻohana kūikawā ʻē aʻe, kū kā mākou paepae no kona lōʻihi a me ka pololei.
ʻO nā mea maikaʻi o Fused Quartz Material
1.High wela kū'ē
Hāʻawi ka Fused Quartz Pedestal i kahi wahi palupalu ma kahi o 1730 ° C, e ʻae iā ia e pale i ka hoʻohana lōʻihi ʻana ma nā mahana mai 1100 ° C a 1250 ° C. Eia kekahi, hiki iā ia ke hoʻomanawanui i ka ʻike pōkole i nā mahana a hiki i 1450 ° C.
2.Corrosion Kū'ē
ʻO ka Fused Quartz Pedestal he mea kemika i ka hapa nui o nā waikawa, koe naʻe ka waika hydrofluoric. ʻOi aku kona kūpaʻa ʻakika ma mua o nā seramika e 30 mau manawa a me ke kila kila ma 150 mau manawa. I nā wela kiʻekiʻe, ʻaʻohe mea ʻē aʻe e hiki ke hoʻohālikelike i ke kūpaʻa kemika o ka quartz fused, e lilo ia i koho kūpono no nā kaiapuni kemika paʻakikī.
3. Paʻa wela
ʻO kekahi o nā hiʻohiʻona koʻikoʻi o ka Fused Quartz Pedestal ʻo ia ka liʻiliʻi o ka hoʻonui wela wela. Hāʻawi kēia waiwai iā ia e pale i nā hoʻololi wela koʻikoʻi me ka haki ʻole. No ka laʻana, hiki ke hoʻomehana ʻia i ka 1100°C a laila hoʻopaʻa ʻia i loko o ka wai ma ka lumi wela me ka ʻole e hoʻomau i ka pōʻino - kahi ʻano koʻikoʻi no nā kaʻina hana koʻikoʻi.
