ʻO nā hana nui o ke kākoʻo waʻa silicon carbide a me ke kākoʻo waʻa quartz ua like. He hana maikaʻi loa ke kākoʻo waʻa Silicon carbide akā ke kumu kūʻai kiʻekiʻe. He pilina ʻē aʻe me ke kākoʻo waʻa quartz i nā lako hana pākaukau me nā kūlana hana koʻikoʻi (e like me nā lako LPCVD a me nā lako diffusion boron). I nā lako hana pākaukau me nā kūlana hana maʻamau, ma muli o nā pili kumukūʻai, silicon carbide a me ke kākoʻo waʻa quartz e noho pū ana a me nā ʻāpana hoʻokūkū.
① Hoʻololi i ka pilina ma LPCVD a me nā mea hoʻoheheʻe boron
Hoʻohana ʻia nā mea hana LPCVD no ka hoʻomaʻamaʻa ʻana i ke kelepona ʻana o ke kelepona a me ka hoʻomākaukau ʻana i ka papa polysilicon doped. Manaʻo hana:
Ma lalo o ka lewa haʻahaʻa haʻahaʻa, i hui pū ʻia me ka mahana kūpono, ka hopena kemika a me ka hoʻokumu ʻana o ka kiʻiʻoniʻoni deposition e hoʻomākaukau ai i ka ultra-thin tunneling oxide layer a me ka polysilicon film. I ke kaʻina hana hoʻomākaukau ʻana o ka tunneling a me ka doped polysilicon layer, ʻo ke kākoʻo waʻa he kiʻekiʻe ka wela hana a waiho ʻia kahi kiʻi silika ma ka ʻili. ʻOkoʻa loa ka helu hoʻonui wela o ka quartz mai ka silika. Ke hoʻohana ʻia i ke kaʻina hana i luna, pono ia e hoʻomaʻamaʻa mau e wehe i ke kilika i waiho ʻia ma luna o ka ʻili e pale ai i ke kākoʻo o ka moku quartz mai haki ʻia ma muli o ka hoʻonui ʻana o ka wela a me ka ʻoki ʻana ma muli o ka ʻokoʻa o ka hoʻonui ʻana o ka wela mai ke kilika. Ma muli o ka pickling pinepine a me ka ikaika haʻahaʻa haʻahaʻa, he pōkole ke ola o ka mea paʻa waʻa quartz a ua hoʻololi pinepine ʻia i loko o ka tunnel oxidation a me ka doped polysilicon layer kaʻina hoʻomākaukau, kahi e hoʻonui nui ai i ke kumu kūʻai o ke kelepona pākaukau. ʻO ke koena hoʻonui o ka silikon carbide kokoke i ka silika. I loko o ke kaʻina hana hoʻomākaukau ʻana o ka tunnel oxidation a me ka doped polysilicon layer, ʻaʻole pono ka mea paʻa waʻa silicon carbide paʻa i ka pickling, loaʻa ka ikaika kiʻekiʻe kiʻekiʻe a me ke ola lōʻihi o ka lawelawe ʻana, a he koho maikaʻi ia i ka mea paʻa moku quartz.
Hoʻohana nui ʻia nā lako hoʻonui Boron no ke kaʻina hana o ka doping boron element ma ke ʻano N-type silicon wafer substrate o ke kelepona pākaukau no ka hoʻomākaukau ʻana i ka emitter P-type e hana i kahi hui PN. ʻO ke kumu hana ka hoʻomaopopo ʻana i ka hopena kemika a me ka hoʻokumu ʻana o ka molecular deposition film i kahi ea wela kiʻekiʻe. Ma hope o ka hoʻokumu ʻia ʻana o ke kiʻiʻoniʻoni, hiki ke hoʻopuehu ʻia e ka hoʻomehana wela kiʻekiʻe e ʻike i ka hana doping o ka ʻili wafer silicon. Ma muli o ke kiʻekiʻe o ka hana ʻana o nā mea hoʻonui boron, ʻo ka mea paʻa moku quartz he haʻahaʻa haʻahaʻa haʻahaʻa haʻahaʻa a me kahi ola lawelawe pōkole i nā lako hoʻonui boron. ʻO ka mea hoʻopaʻa waʻa silicon carbide i hoʻohui ʻia he ikaika kiʻekiʻe kiʻekiʻe a he koho maikaʻi ia i ka mea paʻa waʻa quartz i ke kaʻina hana hoʻonui boron.
② Hoʻololi pili i nā mea hana ʻē aʻe
ʻO nā kākoʻo waʻa SiC he paʻa ka mana hana a me ka hana maikaʻi loa. ʻOi aku ka kiʻekiʻe o kā lākou kumukūʻai ma mua o nā kākoʻo waʻa quartz. Ma nā kūlana hana maʻamau o nā lako hana kelepona, he liʻiliʻi ka ʻokoʻa o ke ola lawelawe ma waena o nā kākoʻo moku SiC a me nā kākoʻo waʻa quartz. Hoʻohālikelike nā mea kūʻai aku i lalo a koho i waena o ke kumukūʻai a me ka hana ma muli o kā lākou kaʻina hana a me nā pono. ʻO nā kākoʻo waʻa SiC a me nā kākoʻo waʻa quartz ua lilo pū me ka hoʻokūkū. Eia nō naʻe, ʻoi aku ka kiʻekiʻe o ka loaʻa kālā o nā kākoʻo moku SiC i kēia manawa. Me ka emi ʻana o ke kumukūʻai hana o nā kākoʻo moku SiC, inā e hoʻohaʻahaʻa ke kumukūʻai kūʻai aku o ka moku SiC e kākoʻo ikaika ana, ʻoi aku ka nui o ka hoʻokūkū i nā kākoʻo quartz boat.
(2) Lakiō hoʻohana
ʻO ke ala ʻenehana kelepona ka nui o ka ʻenehana PERC a me ka ʻenehana TOPCon. ʻO ka māhele mākeke o ka ʻenehana PERC he 88%, a ʻo ka māhele mākeke o ka ʻenehana TOPCon he 8.3%. ʻO ka māhele mākeke hui o nā mea ʻelua he 96.30%.
E like me ka mea i hōʻike ʻia ma ke kiʻi ma lalo nei:
I ka ʻenehana PERC, koi ʻia nā kākoʻo waʻa no ka hoʻoheheʻe mua ʻana o ka phosphorus a me nā kaʻina hana annealing. Ma ka ʻenehana TOPCon, koi ʻia nā kākoʻo waʻa no ka hoʻolaha mua ʻana o ka boron, LPCVD, back phosphorus diffusion a me nā kaʻina hana annealing. I kēia manawa, hoʻohana nui ʻia nā kākoʻo waʻa silicon carbide i ke kaʻina LPCVD o ka ʻenehana TOPCon, a ua hōʻoia nui ʻia kā lākou noi i ke kaʻina diffusion boron.
Kiʻi No nā kākoʻo waʻa i ke kaʻina hana kelepona:
Nānā: Ma hope o ka uhi mua a me hope o nā ʻenehana PERC a me TOPCon, aia nō nā ʻanuʻu e like me ka paʻi pale, sintering a me ka hoʻāʻo ʻana a me ka hoʻokaʻawale ʻana, ʻaʻole pili i ka hoʻohana ʻana i nā kākoʻo waʻa a ʻaʻole i helu ʻia ma ka helu ma luna.
(3) Ke au hoʻomohala e hiki mai ana
I ka wā e hiki mai ana, ma lalo o ka mana o nā pono hana holoʻokoʻa o nā kākoʻo waʻa silicon carbide, ka hoʻonui mau ʻana o nā mea kūʻai aku a me ka hōʻemi ʻana o ke kumukūʻai a me ka hoʻomaikaʻi maikaʻi ʻana o ka ʻoihana photovoltaic, ke manaʻo nei e hoʻonui hou ʻia ka mākeke o nā kākoʻo waʻa silicon carbide.
① Ma ke kaiapuni hana o ka LPCVD a me ka boron diffusion lako, ʻoi aku ka maikaʻi o ka hana holoʻokoʻa o nā kākoʻo waʻa silicon carbide ma mua o ka quartz a he lōʻihi kona ola lawelawe.
② ʻO ka hoʻonui ʻia ʻana o ka mea kūʻai aku o nā mea hana kākoʻo waʻa silicon carbide i hōʻike ʻia e ka hui. Ua hoʻomaka ka nui o nā mea kūʻai aku ma ka ʻoihana e like me North Huachuang, Songyu Technology a me Qihao New Energy e hoʻohana i nā kākoʻo moku carbide silicon.
③ ʻO ka hoʻemi ʻana i ke kumukūʻai a me ka hoʻomaikaʻi maikaʻi ʻana i ka ʻimi mau ʻana i ka ʻoihana photovoltaic. ʻO ka mālama ʻana i nā kumukūʻai ma o nā kelepona pākaukau nui kekahi o nā hōʻike o ka hōʻemi ʻana i ke kumukūʻai a me ka hoʻomaikaʻi maikaʻi ʻana i ka ʻoihana photovoltaic. Me ke ʻano o ka nui o nā keena pākaukau, ʻoi aku ka ʻike o nā mea maikaʻi o ke kākoʻo ʻana o ka waʻa silicon carbide ma muli o kā lākou hana holoʻokoʻa maikaʻi.
Ka manawa hoʻouna: Nov-04-2024