ʻO ka mua, e hoʻokomo i ka silikoni polycrystalline a me nā dopants i loko o ka quartz crucible i loko o ka umu aniani hoʻokahi, e hoʻokiʻekiʻe i ka mahana i ʻoi aku ma mua o 1000 degere, a loaʻa ka polycrystalline silicon i loko o kahi moku i hoʻoheheʻe ʻia.
ʻO ka ulu ʻana o ka silicon ingot kahi kaʻina hana e hana ai i ke silika polycrystalline i loko o ka silika aniani hoʻokahi. Ma hope o ka hoʻomehana ʻia ʻana o ka silika polycrystalline i loko o ka wai, e hoʻomalu pono ʻia ke kaiapuni wela e ulu i nā kristal hoʻokahi kiʻekiʻe.
Nā manaʻo pili:
Ka ulu ʻana o ke aniani hoʻokahi:Ma hope o ka paʻa ʻana o ka mahana o ka solution silicon polycrystalline, e hoʻohaʻahaʻa mālie ʻia ke aniani hua i loko o ka hoʻoheheʻe silika (e hoʻoheheʻe ʻia ke aniani hua i ka hoʻoheheʻe silika), a laila hoʻokiʻekiʻe ʻia ke aniani hua i kahi wikiwiki no ka kanu ʻana. kaʻina hana. A laila, hoʻopau ʻia nā dislocations i hana ʻia i ka wā o ka kanu ʻana ma o ka hana ʻāʻī. Ke hoʻemi ʻia ka ʻāʻī i kahi lōʻihi kūpono, hoʻonui ʻia ke anawaena o ka silika aniani hoʻokahi i ka waiwai i hoʻopaʻa ʻia ma ka hoʻoponopono ʻana i ka wikiwiki huki a me ka mahana, a laila mālama ʻia ke anawaena like e ulu i ka lōʻihi i hoʻopaʻa ʻia. ʻO ka mea hope loa, i mea e pale ai i ka hoʻokuʻu ʻana i hope, ua hoʻopau ʻia ka ingot aniani hoʻokahi no ka loaʻa ʻana o ka ingot aniani hoʻokahi i hoʻopau ʻia, a laila lawe ʻia i waho ma hope o ka maʻalili ʻana o ka mahana.
Nā ʻano hana no ka hoʻomākaukau ʻana i ka silika aniani hoʻokahi:ʻO ke ala CZ a me ke ʻano FZ. Hoʻopau ʻia ke ʻano CZ me ke ʻano CZ. ʻO ka hiʻohiʻona o ke ʻano CZ ʻo ia ka hōʻuluʻulu ʻia i loko o kahi ʻōnaehana thermal cylinder straight-cylinder, me ka hoʻohana ʻana i ka graphite resistance hoʻoheheʻe e hoʻoheheʻe i ka polycrystalline silicon i loko o kahi kīʻaha quartz maʻemaʻe kiʻekiʻe, a laila e hoʻokomo i ke aniani hua i loko o ka ʻili heheʻe no ka wili, ʻoiai. e hoʻohuli i ke aniani hua, a laila hoʻohuli i ke kīʻaha. Hoʻokiʻekiʻe mālie ʻia ke aniani ʻanoʻano i luna, a ma hope o nā kaʻina o ka lūlū hua, ka hoʻonui ʻana, ka hoʻololi ʻana i ka poʻohiwi, ka ulu like ʻana o ke anawaena, a me ka huelo, loaʻa kahi silika aniani hoʻokahi.
ʻO ke ʻano o ka hoʻoheheʻe ʻana he ala ia o ka hoʻohana ʻana i nā ingots polycrystalline e hoʻoheheʻe a hoʻoheheʻe i nā kristal semiconductor ma nā wahi like ʻole. Hoʻohana ʻia ka ikehu wela no ka hoʻohua ʻana i kahi ʻāpana heheʻe ma kekahi kihi o ke koʻokoʻo semiconductor, a laila wili ʻia kahi ʻanoʻano kristal hoʻokahi. Hoʻoponopono ʻia ka mahana i mea e neʻe mālie ai ka ʻāpana hoʻoheheʻe i kekahi ʻaoʻao o ke koʻokoʻo, a ma o ke koʻokoʻo holoʻokoʻa, ulu ʻia kahi aniani hoʻokahi, a ua like ke ʻano o ke aniani me ke aniani hua. Hoʻokaʻawale ʻia ke ʻano o ka hoʻoheheʻe ʻana i ʻelua ʻano: ʻo ke ʻano hoʻoheheʻe ʻana o ke ʻano hoʻoheheʻe a me ke ʻano hoʻoheheʻe ʻana o ka ʻāina hoʻomaha. Hoʻohana nui ʻia ka mea mua no ka hoʻomaʻemaʻe ʻana a me ka ulu ʻana o ka kristal hoʻokahi o nā mea e like me germanium a me GaAs. ʻO ka mea hope, ʻo ia ka hoʻohana ʻana i ka huila kiʻekiʻe i loko o ka lewa a i ʻole ka umu ahi e hoʻoheheʻe ai i kahi wahi i hoʻoheheʻe ʻia ma ka hoʻopili ʻana ma waena o ke aniani hua kristal hoʻokahi a me ke koʻokoʻo silikon polycrystalline i hoʻokuʻu ʻia ma luna ona, a laila hoʻoneʻe i ka ʻāpana hehee i luna e ulu hoʻokahi. aniani.
Ma kahi o 85% o nā wafer silika e hana ʻia e ke ʻano Czochralski, a ʻo 15% o nā wafer silika i hana ʻia e ke ʻano hoʻoheheʻe zone. Wahi a ka noi, hoʻohana nui ʻia ka silikoni kristal hoʻokahi i ulu ʻia e ke ʻano Czochralski no ka hana ʻana i nā ʻāpana kaapuni i hoʻohui ʻia, aʻo ka silika aniani hoʻokahi i ulu ʻia e ke ʻano hoʻoheheʻe ʻāina e hoʻohana nui ʻia no nā semiconductors mana. ʻO ke ʻano Czochralski kahi kaʻina hana makua a ʻoi aku ka maʻalahi o ka ulu ʻana i ka silika aniani hoʻokahi anana nui; ʻAʻole hiki ke hoʻoheheʻe ʻia ke ʻano hoʻoheheʻe ʻāina i ka ipu, ʻaʻole maʻalahi ke hoʻohaumia ʻia, ʻoi aku ka maʻemaʻe kiʻekiʻe, a kūpono no ka hana ʻana i nā mea uila uila mana kiʻekiʻe, akā ʻoi aku ka paʻakikī o ka ulu ʻana i ka silika aniani hoʻokahi. a hoʻohana wale ʻia no ka 8 iniha a i ʻole ka liʻiliʻi o ke anawaena. Hōʻike ka wikiō i ke ʻano Czochralski.
Ma muli o ka paʻakikī o ka hoʻomalu ʻana i ke anawaena o ke koʻokoʻo silikon kristal hoʻokahi i ke kaʻina o ka huki ʻana i ke aniani hoʻokahi, i mea e loaʻa ai nā koʻokoʻo silika o nā anawaena maʻamau, e like me 6 iniha, 8 iniha, 12 iniha, a pēlā aku. ke aniani, e ʻōwili ʻia ke anawaena o ka ingot silika a lepo. ʻO ka ʻili o ke koʻokoʻo silika ma hope o ka ʻōwili ʻia ʻana he laumā a ʻoi aku ka liʻiliʻi o ka hewa nui.
Me ka hoʻohana ʻana i ka ʻenehana ʻoki uea kiʻekiʻe, ʻoki ʻia ka ingot aniani hoʻokahi i loko o nā wafer silika o ka mānoanoa kūpono ma o ka ʻoki ʻana.
Ma muli o ka mānoanoa liʻiliʻi o ka wafer silika, ʻoi loa ka ʻoi o ka lihi o ka wafer silikon ma hope o ka ʻoki ʻana. ʻO ke kumu o ka wili ʻana, ʻo ia ka hana ʻana i kahi ʻaoʻao maʻalahi a ʻaʻole maʻalahi ka haki ʻana i ka hana chip e hiki mai ana.
ʻO LAPPING ka hoʻohui ʻana i ka wafer ma waena o ka pā koho kaumaha a me ka pā aniani haʻahaʻa, a hoʻopili i ke kaomi a hoʻololi me ka abrasive e hoʻopololei i ka wafer.
He kaʻina hana e hoʻoneʻe ai i ka pōʻino o ka ʻili o ka wafer, a hoʻoheheʻe ʻia ka ʻili o ka ʻili i hoʻopōʻino ʻia e ka hana kino e ka hopena kemika.
ʻO ka wili ʻaoʻao ʻelua kahi hana e hoʻomāhuahua ai ka wafer a hoʻoneʻe i nā protrusions liʻiliʻi ma ka ʻili.
ʻO ka RTP kahi kaʻina o ka hoʻomehana wikiwiki ʻana i ka wafer i loko o kekahi mau kekona, i ʻano like nā hemahema o loko o ka wafer, hoʻopaʻa ʻia nā haumia metala, a pale ʻia ka hana maʻamau o ka semiconductor.
ʻO ka polishing kahi hana e hōʻoiaʻiʻo ai i ka maʻemaʻe o ka ʻili ma o ka mīkini hana pololei. ʻO ka hoʻohana ʻana i ka slurry polishing a me ka lole polishing, i hui pū ʻia me ka mahana kūpono, ke kaomi a me ka wikiwiki o ka hoʻololi ʻana, hiki ke hoʻopau i ka papa pōʻino mechanical i waiho ʻia e ke kaʻina hana mua a loaʻa nā wafers silicon me ka palahalaha maikaʻi loa.
ʻO ke kumu o ka hoʻomaʻemaʻeʻana,ʻo ia ka weheʻana i nā mea olaola, nā meaʻeleʻele, nā metala, a me nā mea'ē aʻe i koe ma luna o kaʻili o ka silicon wafer ma hope o ka polishing, i mea e hōʻoiaʻiʻo ai i ka maʻemaʻe o kaʻili silicon wafer a hoʻokō i nā koi maikaʻi o ka hana ma hope.
ʻIke ka mea hoʻāʻo palahalaha & resistivity i ka wafer silika ma hope o ka hoʻomaʻemaʻe ʻana a me ka hoʻomaʻemaʻe ʻana i mea e hoʻokō ai ka mānoanoa, pālahalaha, pālahalaha kūloko, curvature, warpage, resistivity, etc.
PARTICLE COUNTING he kaʻina no ka nānā pono ʻana i ka ʻili o ka wafer, a ʻo nā hemahema o ka ʻili a me ka nui e hoʻoholo ʻia e ka lūlū laser.
He kaʻina hana ʻo EPI GROWING no ka hoʻoulu ʻana i nā kiʻi ʻoniʻoni aniani hoʻokahi kiʻekiʻe kiʻekiʻe ma luna o nā wafer silika i poni ʻia e ka hoʻoheheʻe ʻana i ka vapor phase.
Nā manaʻo pili:Epitaxial ulu: e pili ana i ka ulu ʻana o kahi papa aniani hoʻokahi me kekahi mau koi a me ke ʻano aniani like ʻole e like me ka substrate ma kahi substrate kristal hoʻokahi (substrate), e like me ke aniani mua e hohola ana i waho no kahi ʻāpana. Ua hoʻomohala ʻia ka ʻenehana ulu epitaxial i ka hopena o nā makahiki 1950 a me nā makahiki 1960. I kēlā manawa, i mea e hana kiʻekiʻe-frequency a me ka mana kiʻekiʻe manaʻo, ua pono e ho'ēmi i ka 'ohi moʻo kū'ē, a me ka mea i koi 'ia e ku kiʻekiʻe voltage a me ka kiʻekiʻe o kēia manawa, no laila, ua pono e ulu i ka lahilahi kiʻekiʻe- pale epitaxial papa ma luna o ka haʻahaʻa-kū'ē substrate. Hiki ke ʻokoʻa ka papa aniani hou i ulu ʻia epitaxially mai ka substrate ma ke ʻano o ke ʻano conductivity, resistivity, etc., a hiki ke hoʻonui ʻia nā kristal hoʻokahi multi-layer o nā mānoanoa like ʻole a me nā koi, no laila e hoʻomaikaʻi nui ai i ka maʻalahi o ka hoʻolālā ʻana a me ka hana o ka mea hana.
ʻO Packaging ka pahu o nā huahana kūpono hope loa.
Ka manawa hoʻouna: Nov-05-2024