ʻO ka hope mua o ka laina hana e like me ke kau ʻana i ke kumu a me ke kūkulu ʻana i nā paia o kahi hale. I ka hana semiconductor, pili kēia hana i ka hana ʻana i nā hale kumu a me nā transistors ma kahi wafer silika.
Nā ʻanuʻu koʻikoʻi o FEOL:
1. Hoʻomaʻemaʻe:E hoʻomaka me kahi wafer silika lahilahi a hoʻomaʻemaʻe iā ia e wehe i nā haumia.
2. ʻOkiʻi:E hoʻoulu i kahi ʻāpana o ka silicon dioxide ma ka wafer e hoʻokaʻawale i nā ʻāpana like ʻole o ka chip.
3. Kiʻi kiʻi kiʻi:E hoʻohana i ka photolithography e kaha kiʻi ma luna o ka wafer, e like me ke kaha kiʻi ʻana me ka māmā.
4. Kaʻi ʻana:E wehe i ka silicon dioxide i makemake ʻole ʻia e hōʻike i nā kumu i makemake ʻia.
5. Doping:E hoʻokomo i nā mea haumia i loko o ke kilika e hoʻololi i kona waiwai uila, e hana ana i nā transistors, nā poloka kūkulu kumu o kēlā me kēia chip.
Hoʻopau waena o ka laina (MEOL): Hoʻohui i nā kiko
ʻO ka waena waena o ka laina hana e like me ka hoʻokomo ʻana i nā uwea a me nā paipu i loko o ka hale. Ke nānā nei kēia pae i ka hoʻokumu ʻana i nā pilina ma waena o nā transistors i hana ʻia ma ka pae FEOL.
Nā ʻanuʻu koʻikoʻi o MEOL:
1. Hoʻomoe Dielectric:E waiho i nā papa insulating (i kapa ʻia ʻo dielectrics) e pale i nā transistors.
2. Hoʻopili pili:Hoʻopili i nā pilina e hoʻopili i nā transistors i kekahi i kekahi a me ka honua o waho.
3. Hoʻohui:E hoʻohui i nā ʻāpana metala e hana i nā ala no nā hōʻailona uila, e like me ka uwea ʻana i ka hale e hōʻoia i ka holo ʻana o ka mana a me ka kahe ʻikepili.
Hope Hope o ka Laina (BEOL): Hoʻopau ʻana
-
ʻO ka hope hope o ka laina hana e like me ka hoʻohui ʻana i nā paʻi hope loa i kahi hale - hoʻokomo i nā mea paʻa, pena, a me ka hōʻoia ʻana e hana nā mea āpau. I ka hana semiconductor, pili kēia pae i ka hoʻohui ʻana i nā papa hope a me ka hoʻomākaukau ʻana i ka chip no ka hoʻopili.
Nā ʻanuʻu koʻikoʻi o BEOL:
1. Nā Papa Metala ʻē aʻe:Hoʻohui i nā papa metala he nui e hoʻonui i ka pilina, e hōʻoia i ka chip hiki ke mālama i nā hana paʻakikī a me nā wikiwiki kiʻekiʻe.
2. Ka hoʻopaʻapaʻa:E hoʻopili i nā ʻāpana pale e pale i ka chip mai ka pōʻino o ke kaiapuni.
3. Ho'āʻo:E kau i ka chip i ka hoʻāʻo ikaika e hōʻoia i ka hoʻokō ʻana i nā kikoʻī āpau.
4. Dicing:E ʻoki i ka wafer i mau ʻāpana pākahi, mākaukau kēlā me kēia no ka hoʻopili ʻana a hoʻohana ʻia i nā mea uila.
Ka manawa hoʻouna: Jul-08-2024