ʻO ka maʻemaʻe o kaʻili wafere hoʻopilikia nui i ka helu kūpono o nā kaʻina hana semiconductor a me nā huahana. Ma kahi o 50% o nā poho o nā hua a pau ke kumuʻili waferhaumia.
ʻO nā mea i hiki ke hoʻololi i ka hoʻololi ʻole ʻia i ka hana uila o ka hāmeʻa a i ʻole ke kaʻina hana hana mea i kapa ʻia he mea haumia. Hiki mai nā mea ho'ohaumia mai ka wafer pono'ī, ke ke'ena ma'ema'e, nā mea hana hana, nā mea kemika a i 'ole ka wai.WaferHiki ke ʻike maʻamau ʻia e ka nānā ʻana, ka nānā ʻana i ke kaʻina hana, a i ʻole ka hoʻohana ʻana i nā lako analytical paʻakikī i ka hoʻāʻo ʻana o ka mīkini hope.
▲ ʻO nā mea haumia ma ka ʻili o nā wafer silika | Pūnaewele kumu kiʻi
Hiki ke ho'ohana 'ia nā hualoa'a o ka ho'opō'ino 'ia e hō'ike i ke kūlana a me ke 'ano o ka haumia i loa'a e kawaferma kekahi kaʻina hana, he mīkini kikoʻī a i ʻole ka hana holoʻokoʻa. E like me ka hoʻokaʻawale ʻana o nā ʻano ʻike,ʻili waferhiki ke hoʻokaʻawale ʻia ka haumia i nā ʻano like ʻole.
Hoʻohaumia metala
Hiki i ka hoʻohaumia ʻia e nā metala ke kumu i nā hemahema o ka mīkini semiconductor o nā degere like ʻole.
Hiki i nā metala alkaline a i ʻole nā metala honua alkaline (Li, Na, K, Ca, Mg, Ba, a me nā mea ʻē aʻe) ke hoʻoheheʻe i kēia manawa i loko o ka hale pn, kahi e alakaʻi ai i ka haʻihaʻi uila o ka oxide; metala hoʻololi a me ka metala kaumaha (Fe, Cr, Ni, Cu, Au, Mn, Pb, etc.) hiki ke hoʻohaʻahaʻa i ka pōʻaiapili ola lawe lawe, e hoʻemi i ke ola lawelawe o ka ʻāpana a i ʻole e hoʻonui i ka pōʻeleʻele i ka wā e hana ana ka mea.
ʻO nā ʻano hana maʻamau no ka ʻike ʻana i ka hoʻohaumia ʻana i ka metala, ʻo ia ka hōʻike holoʻokoʻa X-ray fluorescence, atomic absorption spectroscopy a me inductively coupled plasma mass spectrometry (ICP-MS).
▲ ʻO ka hoʻohaumia ʻana o ka ʻili wafer | ResearchGate
Hiki ke hoʻohaumia metala mai nā reagents i hoʻohana ʻia i ka hoʻomaʻemaʻe, etching, lithography, deposition, etc., a i ʻole nā mīkini i hoʻohana ʻia i ke kaʻina hana, e like me nā umu, reactors, implantation ion, etc., a i ʻole ma muli o ka mālama ʻole ʻana i ka wafer.
ʻO ka hoʻohaumia ʻana
ʻIke pinepine ʻia nā waihona waiwai maoli ma ka ʻike ʻana i ka mālamalama i hoʻopuehu ʻia mai nā hemahema o ka ʻili. No laila, ʻo ka inoa ʻepekema ʻoi aku ka pololei no ka hoʻohaumia ʻana i nā ʻāpana ʻokoʻa, ʻo ia ke kīnā māmā. Hiki i ka hoʻohaumia ʻana o nā ʻāpana ke hoʻoulu i ka pale a i ʻole nā hopena masking i nā kaʻina hana etching a me lithography.
I ka ulu ʻana o ke kiʻiʻoniʻoni a i ʻole ka waiho ʻana, hana ʻia nā pinholes a me nā microvoids, a inā he nui a conductive nā ʻāpana, hiki iā lākou ke hana i nā pōkole pōkole.
▲ Ka hoʻokumu ʻana o ka palaka palaka | Pūnaewele kumu kiʻi
Hiki i ka hoʻohaumia ʻana i nā ʻāpana liʻiliʻi ke hana i nā aka ma ka ʻili, e like me ka wā photolithography. Inā loaʻa nā ʻāpana nui ma waena o ka photomask a me ka papa photoresist, hiki iā lākou ke hōʻemi i ka hoʻonā o ka hoʻopili pili.
Eia hou, hiki iā lākou ke ālai i nā ion wikiwiki i ka wā o ka implantation ion a i ʻole etching maloʻo. Hiki ke hoʻopaʻa ʻia nā ʻāpana e ke kiʻiʻoniʻoni, i loaʻa nā puʻu a me nā puʻupuʻu. Hiki i nā papa waiho ʻia ma hope ke haki a kūʻē paha i ka hōʻiliʻili ʻana ma kēia mau wahi, e hoʻopilikia ai i ka wā e ʻike ai.
Hoʻohaumia kino
ʻO nā mea haumia i loaʻa i ke kalapona, a me nā hale hoʻopaʻa pili me C, ua kapa ʻia ʻo ia he mea hoʻohaumia. Hiki i nā mea hoʻohaumia kino ke kumu i nā waiwai hydrophobic i manaʻo ʻole ʻia ma kaʻili wafer, hoʻonui i ka ʻeleʻele o ka ʻili, hana i ka ʻili pōwehiwehi, hoʻopau i ka ulu ʻana o ka papa epitaxial, a hoʻopilikia i ka hopena hoʻomaʻemaʻe o ka hoʻohaumia metala inā ʻaʻole e wehe mua ʻia nā mea haumia.
ʻIke ʻia kēlā ʻano ʻino o ka ʻili e nā mea hana e like me ka thermal desorption MS, X-ray photoelectron spectroscopy, a me Auger electron spectroscopy.
▲ Pūnaehana kumu kiʻi
ʻO ke kinoea a me ka hoʻohaumia wai
ʻAʻole hoʻoneʻe ʻia nā molekala lewa a me ka wai me ka nui molekala e ka ea maʻamau kiʻekiʻe-efficiency maʻamau (HEPA) a i ʻole nā kānana ea ultra-low penetration (ULPA). E nānā mau ʻia kēlā ʻano ʻino e ka ion mass spectrometry a me ka electrophoresis capillary.
No nā ʻāpana he nui paha kekahi o nā mea haumia, no ka laʻana, hiki ke haku ʻia nā ʻāpana me nā mea kūlohelohe a metala paha, a i ʻole nā mea ʻelua, no laila hiki ke hoʻokaʻawale ʻia kēia ʻano haumia e like me nā ʻano ʻē aʻe.
▲Mole kinoea hoʻohaumia | IONIKONA
Eia kekahi, hiki ke hoʻokaʻawale ʻia ka ʻōpala wafer e like me ka molecular contamination, particle contamination, a me ka hoʻoheheʻe ʻia ʻana o ka ʻōpala e like me ka nui o ke kumu hoʻohaumia. ʻO ka liʻiliʻi o ka nui o ka mea hoʻohaumia, ʻoi aku ka paʻakikī o ka wehe ʻana. Ma ka hana ʻenehana uila o kēia lā, ʻo nā kaʻina hana hoʻomaʻemaʻe wafer no 30% - 40% o ke kaʻina hana holoʻokoʻa.
▲ ʻO nā mea haumia ma ka ʻili o nā wafer silika | Pūnaewele kumu kiʻi
Ka manawa hoʻouna: Nov-18-2024