Pehea mākou e hana ai i nā ʻanuʻu hana no nā substrates SiC penei:
1. Kūlana Crystal:
Ke hoʻohana nei i ka diffraction X-ray e hoʻonohonoho i ka ingot kristal. Ke kuhikuhi ʻia kahi kukuna X-ray i ka maka aniani i makemake ʻia, ʻo ka huina o ke kukui ʻokoʻa e hoʻoholo i ka ʻano aniani.
2. Ka wili ana i waho:
ʻO nā kristal hoʻokahi i ulu i nā crucibles graphite pinepine ma mua o nā anawaena maʻamau. ʻO ka wili ʻana o waho e hōʻemi iā lākou i nā nui maʻamau.
3. Hoʻopau maka wili:
4-inihi 4H-SiC substrates maʻamau i ʻelua mau kihi hoʻonohonoho, mua a me ka lua. Hoʻopau ka wili maka e wehe i kēia mau ʻaoʻao hoʻonohonoho.
4. ʻIli Uea:
He hana koʻikoʻi ka ʻili uea i ka hana ʻana i nā substrates 4H-SiC. ʻO nā māwae a me ka pōʻino i lalo o ka ʻili i ka wā e ʻeli uea e hoʻopilikia maikaʻi ʻole i nā kaʻina hana ma hope, e hoʻolōʻihi i ka manawa hana a me ka lilo ʻana o nā mea. ʻO ke ala maʻamau, ʻo ka ʻili ʻana i nā uea he nui me ka abrasive daimana. Hoʻohana ʻia ka neʻe ʻana o nā uwea metala i hoʻopaʻa ʻia me nā abrasive daimana e ʻoki i ka ingot 4H-SiC.
5. Hoʻopiʻi:
No ka pale ʻana i ka ʻoki ʻoki ʻana a me ka hoʻemi ʻana i nā poho hoʻopau i ka wā o nā kaʻina hana e hiki mai ana, ua hoʻopili ʻia nā kihi ʻoi o nā ʻāpana uea i nā ʻano kikoʻī.
6. Ka hoʻohiwahiwa:
He nui nā ʻōpala a me nā poho lalo o ka ʻili ʻana i ka uwea. Hoʻohana ʻia nā huila daimana e wehe i kēia mau hemahema i ka hiki.
7. Ka wili ʻana:
Aia kēia kaʻina hana i ka wili a me ka wili maikaʻi ʻana me ka boron carbide liʻiliʻi a i ʻole nā mea abrasive daimana e hoʻoneʻe i ke koena pōʻino a me nā pōʻino hou i hoʻokomo ʻia i ka wā o ka lahilahi.
8. Hoʻomaʻamaʻa:
ʻO nā ʻanuʻu hope loa e pili ana i ka polishing a me ka poli maikaʻi me ka hoʻohana ʻana i ka alumina a i ʻole ka silicon oxide abrasives. Hoʻomaʻamaʻa ka wai polishing i ka ʻili, a laila hoʻoneʻe ʻia e nā abrasives. Mālama kēia ʻanuʻu i ka ʻili maʻemaʻe a me ka pohō ʻole.
9. Hoʻomaʻemaʻe:
Ke wehe nei i nā ʻāpana, nā metala, nā kiʻiʻoniʻoni oxide, nā koena organik, a me nā mea haumia ʻē aʻe i waiho ʻia mai nā kaʻina hana.
Ka manawa hoʻouna: Mei-15-2024