He aha nā ʻanuʻu nui i ka hana ʻana o nā substrates SiC?

Pehea mākou e hana ai i nā ʻanuʻu hana no nā substrates SiC penei:

1. Ka Hoʻonaʻauao Crystal: E hoʻohana ana i ka diffraction X-ray no ka hoʻonohonoho ʻana i ka ingot aniani.Ke kuhikuhi ʻia kahi kukuna X-ray i ka maka aniani i makemake ʻia, ʻo ka huina o ke kukui ʻokoʻa e hoʻoholo i ka ʻano aniani.

2. Outer Diameter Grinding: ʻO nā kristal hoʻokahi i ulu i nā crucibles graphite pinepine ma mua o nā anawaena maʻamau.ʻO ka wili ʻana o waho e hōʻemi iā lākou i nā nui maʻamau.

Hoʻopau i ka wili ʻana: 4-ʻīniha 4H-SiC substrates maʻamau i ʻelua mau kihi hoʻonohonoho, mua a me ka lua.Hoʻopau ka wili maka e wehe i kēia mau ʻaoʻao hoʻonohonoho.

3. ʻIli Uea: He hana koʻikoʻi ka ʻili uea i ka hana ʻana i nā substrates 4H-SiC.ʻO nā māwae a me ka pōʻino i lalo o ka ʻili i ka wā e ʻeli ai i ka uwea e hoʻopōʻino i nā kaʻina hana ma hope, e hoʻolōʻihi i ka manawa hana a me ka pohō waiwai.ʻO ke ala maʻamau, ʻo ka ʻili ʻana i nā uea he nui me ka abrasive daimana.Hoʻohana ʻia ka neʻe ʻana o nā uwea metala i hoʻopaʻa ʻia me nā abrasive daimana e ʻoki i ka ingot 4H-SiC.

4. Chamfering: No ka pale ʻana i ka ʻoki ʻoki ʻana a me ka hoʻemi ʻana i nā poho pau i ka wā o nā kaʻina hana ma hope, ua hoʻopili ʻia nā ʻaoʻao ʻoi o nā ʻāpana uea i nā ʻano kikoʻī.

5. Ka hoʻohiwahiwa: ʻO ka ʻili uwea e waiho i nā ʻōpala he nui a me nā pōʻino ma lalo o ka ʻili.Hoʻohana ʻia nā huila daimana e wehe i kēia mau hemahema i ka hiki.

6. Ka wili ʻana: Aia kēia kaʻina hana i ka wili a me ka wili maikaʻi me ka hoʻohana ʻana i ka boron carbide liʻiliʻi a i ʻole ka daimana abrasives no ka wehe ʻana i ke koena pohō a me nā pōʻino hou i hoʻokomo ʻia i ka wā o ka lahilahi.

7. Hoʻolale: ʻO nā ʻanuʻu hope e pili ana i ka polishing a me ka hoʻoliʻi maikaʻi ʻana me ka hoʻohana ʻana i ka alumina a i ʻole ka silicon oxide abrasives.Hoʻomaʻamaʻa ka wai polishing i ka ʻili, a laila hoʻoneʻe ʻia e nā abrasives.Mālama kēia ʻanuʻu i ka ʻili maʻemaʻe a me ka pohō ʻole.

8. Hoʻomaʻemaʻe: Wehe i nā ʻāpana, nā metala, nā kiʻiʻoniʻoni oxide, nā koena organik, a me nā mea haumia ʻē aʻe i waiho ʻia mai nā kaʻina hana.

SiC epitaxy (2) - 副本(1)(1)


Ka manawa hoʻouna: Mei-15-2024