He aha ka Epi Carrier?

E ʻimi ana i kāna kuleana koʻikoʻi i ka hoʻoheheʻe ʻana i ka wafer epitaxial

Ka hoʻomaopopo ʻana i ke koʻikoʻi o nā mea lawe Epi ma Advanced Semiconductor Manufacturing

I ka ʻoihana semiconductor, ka hana ʻana o ka epitaxial kiʻekiʻe (epi)wafersHe hana koʻikoʻi i ka hana ʻana i nā mea hana e like me nā transistors, diodes, a me nā mea uila ʻē aʻe. ʻO ke kikowaena o kēia kaʻina hana kalawe epi, he mea hana kūikawā i hoʻolālā ʻia e hoʻopaʻa paʻa i nā wafers i ka wā epitaxial deposition. Akā he aha ka mea lawe epi, a no ke aha he mea nui i ka hana semiconductor?

Epitaxial Growth: A Key Process in Semiconductor Fabrication

ʻO ka ulu ʻana o ka epitaxial, a i ʻole ka epitaxy, pili i ke kaʻina hana o ka waiho ʻana i kahi ʻāpana lahilahi o nā mea crystalline ma luna o kahi wafer semiconductor. ʻO kēia papa, i ʻike ʻia ʻo ka papa epitaxial, loaʻa ka ʻano aniani like me ka substrate lalo a hoʻohana ʻia e hoʻonui i nā waiwai uila o ka wafer. Pono ka Epitaxy i ka hana ʻana i nā mea hana kiʻekiʻe e koi ai i ka mana pololei ma luna o ka haku mele a me ke ʻano.

No ka hoʻokō ʻana i ka maikaʻi i makemake ʻia a me ka like ʻole i ka papa epitaxial, pono e paʻa nā wafers me ka pololei a me ka paʻa i ka wā o ka deposition. ʻO kēia kahi o kalawe epihele mai i ka pāʻani.

ʻO ke kuleana o kahiEpi Carrier

An lawe epiHe mea hoʻolālā kūikawā i hoʻopaʻa ʻia i nā wafers i ka wā o ke kaʻina hana epitaxial deposition. Hana ʻia ia mai nā mea hoʻomaʻemaʻe kiʻekiʻe e hiki ke kū i nā wela kiʻekiʻe a me nā wahi reactive e pili ana i ka epitaxy. ʻO ka hoʻolālā ʻana o ka mea lawe e hōʻoia i ka hoʻonohonoho paʻa ʻana o nā wafers a ʻike pono ʻia i nā mea deposition, e hopena i kahi papa epitaxial like ʻole ma ka ʻili wafer holoʻokoʻa.

ʻO kekahi o nā hana nui o ka mea lawe epi ʻo ia ka mālama ʻana i kaka waferkūpaʻa a me ka hoʻolikelike ʻana i ke kaʻina hana deposition. Hiki i nā neʻe a i ʻole misalignment ke alakaʻi i nā hemahema i ka papa epitaxial, hiki ke hoʻopilikia nui i ka hana o ka mīkini semiconductor hope. Pono ka mea lawe e pale i ka hoʻohaumia ʻana a e hōʻoia i ka noho ʻole o nā wafers mai nā ʻāpana a i ʻole nā ​​​​mea haumia i ka wā e hana ai.

No ke aha maiʻO nā mea lawe EpiHe mea nui i ka hana Semiconductor

Hoʻopili pololei ka maikaʻi o ka papa epitaxial i ka hana o nā mea semiconductor. No laila, he mea koʻikoʻi ke kuleana o ka mea lawe epi i ka hoʻokō ʻana i nā kūlana kiʻekiʻe i koi ʻia i ka ʻoihana. Ma ka hoʻolako ʻana i kahi kaiapuni paʻa a hoʻomalu ʻia no ka hoʻoili ʻana i ka wafer, hōʻoia ka mea lawe epi i ka waiho ʻia ʻana o ka papa epitaxial me ke ʻano like ʻole a me nā hemahema.

Pono nā mea lawe Epi i ke kākoʻo ʻana i ka scalability o ka hana semiconductor. Ke hoʻomau nei ka emi ʻana o nā geometries a ke ulu nei ka koi no ka hana kiʻekiʻe, ʻoi aku ka koʻikoʻi o ka pono o nā kaʻina epitaxial pololei a hilinaʻi. Kōkua nā mea lawe epi kiʻekiʻe i nā mea hana e hoʻokō i kēia mau koi ma o ka hiki ʻana i nā hopena paʻa a hiki ke hana hou ʻia, ʻoiai ke piʻi aʻe nei ka hana.

Ka hopena

I ka hōʻuluʻulu ʻana, ʻo ka mea lawe epi he mea pono loa ia i ke kaʻina hana semiconductor, ʻoi loa i ka hana ʻana i nā wafers epitaxial. ʻO kāna kuleana i ka hōʻoia ʻana i ka paʻa o ka wafer, alignment, a me ka mana contamination he mea nui ia no ka hoʻokō ʻana i nā papa epitaxial kiʻekiʻe e pono ai no nā polokalamu semiconductor kiʻekiʻe. Ke hoʻomau nei ka ʻoihana i ka hoʻokau ʻana i nā palena o ka ʻenehana, e hoʻonui wale ʻia ke koʻikoʻi o nā mea lawe epi hilinaʻi a maikaʻi hoʻi, e lilo lākou i mea koʻikoʻi i ka ʻimi ʻana i ka maikaʻi i ka hana semiconductor.

No ka poʻe i loko o ka ʻoihana semiconductor e ʻimi nei e hoʻomaikaʻi i kā lākou kaʻina hana epitaxial, ʻo ka hoʻomaopopo ʻana a me ka hoʻopukapuka ʻana i nā mea lawe epi kiʻekiʻe he hana koʻikoʻi i ka loaʻa ʻana o nā hopena maikaʻi aʻe a mālama i kahi pae hoʻokūkū ma ka mākeke.