He aha ka Epi Pan Carrier?

Ke hilinaʻi nei ka ʻoihana semiconductor i nā mea hana kūikawā nui e hana i nā mea uila kiʻekiʻe. ʻO kekahi o ia mea koʻikoʻi i ke kaʻina hana ulu epitaxial ʻo ia ka epi pan carrier. He mea koʻikoʻi kēia mea hana i ka waiho ʻana o nā papa epitaxial ma nā wafers semiconductor, e hōʻoia ana i ka kūlike a me ka maikaʻi o ka huahana hope.

ʻO kahi mea lawe epi pan, i ʻike ʻia ʻo ka epitaxy pan carrier, he pā i hoʻolālā kūikawā ʻia i hoʻohana ʻia i ke kaʻina ulu epitaxial. Hoʻopaʻa a kākoʻo ia i nā wafers semiconductor i ka wā o ka waiho ʻana o nā papa epitaxial. Hoʻolālā ʻia kēia mau mea lawe e kū i nā wela kiʻekiʻe a me nā pōʻino corrosive maʻamau o nā kaʻina epitaxial, e hāʻawi ana i kahi kahua paʻa no ka ulu ʻana o nā papa kristal hoʻokahi.

Nā mea hana a me ke kūkulu ʻana:

Hana ʻia nā mea lawe Epi pan mai nā mea hiki ke hoʻomanawanui i nā wela wela a kū i nā hopena kemika. Aia nā mea maʻamau:

•Kapili Silika (SiC): Ua ʻike ʻia no kona conductivity thermal kiʻekiʻe a me ke kūpaʻa ʻana i ka ʻaʻahu a me ka oxidation, ʻo SiC kahi koho kaulana no nā mea lawe epi pan.

• Graphite: Hoʻohana pinepine ʻia ma muli o kāna mau mea wela maikaʻi loa a me ka hiki ke mālama i ka pono o ke kūkulu ʻana i nā wela kiʻekiʻe. Hoʻopili pinepine ʻia nā mea lawe graphite me SiC e hoʻomaikaʻi i ko lākou kūpaʻa a me ke kūpaʻa ʻana i ka corrosion.

Ke kuleana ma ke Kaʻina Hoʻoulu Epitaxial:

ʻO ke kaʻina hana ulu epitaxial e pili ana i ka waiho ʻana o kahi ʻāpana lahilahi o nā mea crystalline ma kahi substrate a i ʻole wafer. He mea koʻikoʻi kēia kaʻina hana i ka hana ʻana i nā mea semiconductor me nā waiwai uila pololei. Kākoʻo ka mea lawe epi pan i ka wafer i loko o ke keʻena pane a hoʻopaʻa paʻa i ka wā o ka waiho ʻana.

ʻO nā hana koʻikoʻi o ka mea lawe epi pan:

• Hoʻokaʻawale Heat Uniform: Mālama ka mea lawe i ka hāʻawi ʻana i ka wela ma waena o ka wafer, he mea nui ia no ka loaʻa ʻana o ka mānoanoa a me ka maikaʻi o ka papa epitaxial.

• Hoʻokaʻawale Kemika: Ma ka hoʻolako ʻana i kahi ʻili paʻa a inert, pale ka mea lawe i nā hopena kemika makemake ʻole e hiki ke hoʻohaʻahaʻa i ka maikaʻi o ka papa epitaxial.

Nā Pōmaikaʻi o ka Mea KiʻekiʻeEpi Pan:

• Hoʻomaikaʻi ʻia ka hana o nā mea hana: ʻO nā papa epitaxial like ʻole e kōkua i ka hana ʻoi aku ka maikaʻi o nā mea semiconductor, e hopena i ka maikaʻi a me ka hilinaʻi.

• Hoʻonui i ka hua: Ma ka hōʻemi ʻana i nā hemahema a me ka hōʻoia ʻana i ka waiho ʻana o ka ʻāpana like, hoʻomaikaʻi nā mea lawe kiʻekiʻe i ka hua o nā wafers semiconductor hoʻohana.

• Ho'ēmi i nā kumukūʻai mālama: ʻO nā mea paʻa paʻa a me ka ʻenekinia pololei e hoʻemi i ka pono no ka hoʻololi pinepine ʻana a me ka mālama ʻana, e hoʻohaʻahaʻa i nā kumukūʻai hana holoʻokoʻa.

ʻO ka epi pan carrier he mea koʻikoʻi i ke kaʻina ulu epitaxial, e hoʻopili pololei ana i ka maikaʻi a me ka kūlike o nā mea semiconductor. Ma ke koho ʻana i nā mea pono a me ka hoʻolālā ʻana, hiki i nā mea hana ke hoʻonui i ke kaʻina hana epitaxial, e alakaʻi ana i ka hoʻomaikaʻi ʻana i ka hana a me ka hoʻemi ʻana i nā kumukūʻai hana. Ke ulu nei ka noi no nā mea uila kiʻekiʻe, ke koʻikoʻi o ke kūlana kiʻekiʻenā mea lawe epi pani ka ʻoihana semiconductor e hoʻomau i ka hoʻonui.