ʻO kaMOCVDʻO ke ala kekahi o nā kaʻina hana paʻa loa i hoʻohana ʻia i kēia manawa i ka ʻoihana e ulu i nā kiʻiʻoniʻoni lahilahi crystalline kiʻekiʻe, e like me nā epilayers InGaN hoʻokahi, nā mea III-N, a me nā kiʻiʻoniʻoni semiconductor me nā hale lua quantum nui, a he koʻikoʻi nui i ka ka hana ʻana i nā mea semiconductor a me optoelectronic.
ʻO kaSiC uhi MOCVD susceptorhe paʻa wafer kūikawā i uhi ʻia me ka carbide silika (SiC) noepitaxial ka ulu ʻana i ke kaʻina hana metala organik chemical vapor deposition (MOCVD).
Loaʻa i ka SiC coating ke kūpaʻa kemika maikaʻi loa a me ke kūpaʻa wela, e lilo ia i koho kūpono no nā susceptors MOCVD i hoʻohana ʻia i ke koi ʻana i nā kaʻina ulu epitaxial.
ʻO kahi mea koʻikoʻi o ke kaʻina MOCVD ʻo ia ka susceptor, ʻo ia ka mea nui e hōʻoia i ka kūlike a me ka maikaʻi o nā kiʻi ʻoniʻoni lahilahi i hana ʻia.
He aha ka mea susceptor? ʻO ka susceptor kahi mea kūikawā i hoʻohana ʻia i ke kaʻina MOCVD e kākoʻo a hoʻomehana i ka substrate kahi i waiho ʻia ai ke kiʻi ʻoniʻoni. Loaʻa iā ia nā hana he nui, me ka hoʻopili ʻana i ka ikehu electromagnetic, hoʻololi iā ia i ka wela, a me ka hāʻawi like ʻana i ka wela ma ka substrate. He mea nui kēia hoʻomehana ʻaʻahu no ka ulu ʻana o nā kiʻi ʻoniʻoni lahilahi me ka mānoanoa a me ka haku mele.
ʻO nā ʻano o nā mea hoʻohana:
1. Nā mea kōkua graphite: Hoʻopili pinepine ʻia nā mea hoʻopiʻi graphite me kahi papa pale e like mekalapona kalapona (SiC), ka mea i ʻike ʻia no kāna conductivity thermal kiʻekiʻe a paʻa. ʻO kaKa uhi ʻana o SiChāʻawi i kahi ʻili paʻa, pale e kūʻē i ka ʻino a me ka hoʻohaʻahaʻa i nā wela kiʻekiʻe.
2. ʻO nā mea hoʻopiʻi Silicon carbide (SiC): Ua hana ʻia kēia mau susceptors i ka SiC a loaʻa iā lākou ke kūpaʻa wela maikaʻi a me ke kūpaʻa ʻana. He kūpono loa nā susceptors SiC no nā kaʻina hana wela kiʻekiʻe a me nā wahi corrosive.
Pehea ka hana ʻana o nā mea mālama ma MOCVD:
Ma ke kaʻina hana MOCVD, hoʻokomo ʻia nā precursors i loko o ke keʻena hopena kahi e hoʻoheheʻe ai lākou a hana i kahi kiʻiʻoniʻoni lahilahi ma luna o ka substrate. He hana koʻikoʻi ka susceptor ma ka hōʻoia ʻana i ka wela o ka substrate, he mea koʻikoʻi ia i ka loaʻa ʻana o nā waiwai kiʻiʻoniʻoni ma waena o ka ʻili substrate holoʻokoʻa. Ua koho pono ʻia ka mea a me ka hoʻolālā o ka susceptor e hoʻokō i nā koi kikoʻī o ke kaʻina deposition, e like me ke ʻano wela a me ka hoʻohālikelike kemika.
Nā pōmaikaʻi o ka hoʻohana ʻana i nā susceptors kiʻekiʻe:
• Hoʻonui i ka maikaʻi o ke kiʻiʻoniʻoni: Ma ka hāʻawi ʻana i ka hāʻawi ʻana i ka hāʻawi ʻana i ka wela, kōkua ka susceptor e hoʻokō i nā kiʻiʻoniʻoni me ka mānoanoa like ʻole a me ka haku mele ʻana, he mea koʻikoʻi i ka hana o nā mea semiconductor.
• Hoʻomaikaʻi maikaʻi i ke kaʻina hana: Hoʻonui ka poʻe susceptors kiʻekiʻe i ka pono holoʻokoʻa o ke kaʻina MOCVD ma ka hoʻemi ʻana i nā hemahema a hoʻonui i ka hua o nā kiʻiʻoniʻoni hoʻohana.
• Ke ola a me ka hilinaʻi: ʻO nā susceptors i hana ʻia i nā mea paʻa e like me SiC e hōʻoia i ka hilinaʻi lōʻihi a hoʻemi i nā kumukūʻai mālama.
ʻO ka susceptor kahi mea hoʻohui i ke kaʻina MOCVD a pili pono i ka maikaʻi a me ka maikaʻi o ka deposition kiʻiʻoniʻoni lahilahi. No ka ʻike hou aku e pili ana i ka nui i loaʻa, MOCVD susceptors a me nā kumukūʻai, e ʻoluʻolu e hoʻokaʻaʻike mai iā mākou. E hauʻoli ko mākou mau ʻenekini e aʻo iā ʻoe i nā mea kūpono a pane i kāu mau nīnau āpau.
Kelepona: +86-13373889683
WhatsApp: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
Ka manawa hoʻouna: ʻAukake-12-2024