He aha ka MOCVD Susceptor?

He hana koʻikoʻi ka Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) i ka ʻoihana semiconductor, kahi e waiho ʻia ai nā kiʻiʻoniʻoni lahilahi kiʻekiʻe ma luna o nā substrate. ʻO kahi ʻāpana koʻikoʻi o ke kaʻina MOCVD ʻo ia ka susceptor, kahi mea koʻikoʻi e hana koʻikoʻi i ka hōʻoia ʻana i ka lokahi a me ka maikaʻi o nā kiʻiʻoniʻoni i hana ʻia.

He aha ka Susceptor? ʻO ka susceptor kahi mea kūikawā i hoʻohana ʻia i ke kaʻina MOCVD e kākoʻo a hoʻomehana i ka substrate kahi i waiho ʻia ai nā kiʻiʻoniʻoni lahilahi. Hoʻohana ia i nā hana he nui, me ka hoʻopili ʻana i ka ikehu electromagnetic, hoʻololi iā ia i ka wela, a me ka hāʻawi like ʻana i kēia wela ma luna o ka substrate. He mea nui kēia hoʻomehana like no ka ulu ʻana o nā kiʻiʻoniʻoni homogeneous me ka mānoanoa a me ka haku mele.

Nā ʻano o nā Susceptors:
1. Graphite Susceptors: Hoʻopili maʻamau me kahi papa pale, e like mekalapona kalapona (SiC), graphite susceptors ua ike no ko lakou kiʻekiʻe thermal conductivity a me ka paʻa. ʻO kaKa uhi ʻana o SiChāʻawi i kahi ʻili paʻa, pale e kūʻē i ka ʻino a me ka hoʻohaʻahaʻa i nā wela kiʻekiʻe.

2. ʻO Silicon Carbide (SiC) Susceptors: Hana ʻia kēia mau mea mai SiC, e hāʻawi ana i ke kūpaʻa wela maikaʻi loa a me ke kūpaʻa ʻana i ka lole a me ka waimaka.ʻO nā mea hoʻopili SiCkūpono loa no nā kaʻina hana wela kiʻekiʻe a me nā wahi corrosive.
PeheaNā mea kōkuaHana ma MOCVD:

Ma ke kaʻina hana MOCVD, hoʻokomo ʻia nā precursors i loko o ke keʻena reactor, kahi e hoʻoheheʻe ai lākou a hana i kahi kiʻiʻoniʻoni lahilahi ma ka substrate. He kuleana koʻikoʻi ka susceptor ma ka hōʻoia ʻana e hoʻomehana ʻia ka substrate, he mea koʻikoʻi ia no ka loaʻa ʻana o nā waiwai kiʻiʻoniʻoni ma waena o ka ʻili substrate holoʻokoʻa. Ua koho pono ʻia nā mea a me ka hoʻolālā ʻana o ka susceptor e kūlike i nā koi kikoʻī o ke kaʻina hana deposition, e like me ke ʻano wela a me ka hoʻohālikelike kemika.
Pono o ka hoohana anaNā Susceptors Kiʻekiʻe:
• Hoʻonui i ka maikaʻi o ke kiʻiʻoniʻoni: Ma ka hāʻawi ʻana i ka hāʻawi ʻana i ka wela like ʻole, kōkua nā susceptors i ka hoʻokō ʻana i nā kiʻiʻoniʻoni me ka mānoanoa a me ka haku mele ʻana, he mea nui ia no ka hana ʻana o nā mea semiconductor.
• Hoʻonui i ke kaʻina hana: Hoʻonui ka poʻe susceptors kiʻekiʻe i ka pono holoʻokoʻa o ke kaʻina MOCVD ma o ka hōʻemi ʻana i nā hemahema a me ka hoʻonui ʻana i ka hua o nā kiʻiʻoniʻoni hoʻohana.
• Ka lōʻihi a me ka hilinaʻi: ʻO nā susceptors i hana ʻia mai nā mea paʻa e like me SiC e hōʻoia i ka hilinaʻi lōʻihi a me ka hoʻemi ʻana i nā kumukūʻai mālama.

Ka hopena: He mea koʻikoʻi ka susceptor i ke kaʻina MOCVD, e pili pono ana i ka maikaʻi a me ka pono o ka waiho ʻana i nā kiʻiʻoniʻoni lahilahi. Ma ke koho ʻana i nā mea susceptor kūpono a me ka hoʻolālā ʻana, hiki i nā mea hana semiconductor ke hoʻopaʻa i kā lākou kaʻina hana, e hopena i ka hana ʻoi aku ka maikaʻi o ka mīkini a me nā kumukūʻai hana haʻahaʻa. Ke hoʻomau nei ka noi no nā mea uila uila kiʻekiʻe, ʻo ka mea nui o ka MOCVD susc kiʻekiʻe.