ʻO kaKūleʻa aniani Quartzmai Semicera ua hoʻolālā maikaʻi ʻia no nā noi kiʻekiʻe i ka hana semiconductor a me nā ʻoihana pili. Hana ʻia maiquartz maʻemaʻe kiʻekiʻe, hōʻoia kēia paepae i ke kūpaʻa wela maikaʻi loa a me ke kūpaʻa maikaʻi ʻana i nā kemika, i mea kūpono no nā kaiapuni koi.
Hāʻawi kā mākou quartz pedestal i ke kākoʻo hilinaʻi i ka wā o nā kaʻina koʻikoʻi e like me LPCVD (Low-Pressure Chemical Vapor Deposition) a me ka diffusionwaferkaʻina hana. Me kona maikaʻi maikaʻi loa, ʻo ke aniani silica fused i hoʻohana ʻia i ke kūkulu ʻana i kā mākou mau wāwae e hōʻemi i ka hopena o ka hoʻohaumia ʻana, e hōʻoiaʻiʻo ana i ka pono o kāu huahana.
Ma Semicera, ua kūpaʻa mākou i ka hoʻolako ʻana i nā huahana kiʻekiʻe e kū ana i nā kūlana ʻoihana paʻa. ʻO kā mākouKūleʻa aniani Quartzua hoʻolālā ʻia e kākoʻo i nā kaʻina hana like ʻole me ka mālama ʻana i ka paʻa a me ka hilinaʻi. Inā no ka noiʻi, hoʻomohala ʻana, a i ʻole hana ʻana, he mea koʻikoʻi kēia paepae no ka loaʻa ʻana o nā hopena maikaʻi loa i kāu mau hana.
maopopo mākou i ke koʻikoʻi o nā mea maikaʻi ma ke kahua semiconductor. ʻAʻole paʻa wale kā mākou ʻāpana aniani quartz fused akā kūʻai hoʻokūkū hoʻi. ʻO ka quartz fused i hoʻohana ʻia i loko o kā mākou mau wāwae e hāʻawi i ka hana maikaʻi loa, e hana ana i kahi koho i makemake ʻia no nā poʻe ʻoihana e ʻimi nei i ka hilinaʻi me ka ʻole o ka hoʻohālikelike ʻana i ka maikaʻi.
ʻO nā mea maikaʻi o Fused Quartz Material
1.High wela kū'ē
Hāʻawi ka Fused Quartz Pedestal i kahi wahi palupalu ma kahi o 1730 ° C, e ʻae iā ia e pale i ka hoʻohana lōʻihi ʻana ma nā mahana mai 1100 ° C a 1250 ° C. Eia kekahi, hiki iā ia ke hoʻomanawanui i ka ʻike pōkole i nā mahana a hiki i 1450 ° C.
2.Corrosion Kū'ē
ʻO ka Fused Quartz Pedestal he mea kemika i ka hapa nui o nā waikawa, koe naʻe ka waika hydrofluoric. ʻOi aku kona kūpaʻa waika ma mua o nā seramika ma 30 mau manawa a me ke kila kila ma 150 mau manawa. I nā wela kiʻekiʻe, ʻaʻohe mea ʻē aʻe e hiki ke hoʻohālikelike i ke kūpaʻa kemika o ka quartz fused, e lilo ia i koho kūpono no nā kaiapuni kemika paʻakikī.
3. Paʻa wela
ʻO kekahi o nā hiʻohiʻona koʻikoʻi o ka Fused Quartz Pedestal ʻo ia ka liʻiliʻi o ka hoʻonui wela wela. Hiki i kēia waiwai ke kū i nā hoʻololi wela koʻikoʻi me ka haki ʻole. No ka laʻana, hiki ke hoʻomehana ʻia i ka 1100°C a laila hoʻopaʻa ʻia i loko o ka wai ma ka lumi wela me ka ʻole e hoʻomau i ka pōʻino - kahi ʻano koʻikoʻi no nā kaʻina hana koʻikoʻi.