ʻenehana Hoʻopaʻa Wafer

Ke Kaʻina Hana MEMS - Hoʻopili: Noi a me ka hana ma ka Semiconductor Industry, Semicera Customized Service

 

I loko o nā ʻoihana microelectronics a me semiconductor, ua lilo ka ʻenehana MEMS (micro-electromechanical system) i hoʻokahi o nā ʻenehana koʻikoʻi e hoʻokau i ka hana hou a me nā mea hana kiʻekiʻe. Me ka holomua o ka ʻepekema a me ka ʻenehana, ua hoʻohana nui ʻia ka ʻenehana MEMS i nā sensor, actuators, optical device, medical equipment, automotive electronics a me nā ʻano ʻē aʻe, a ua lilo mālie i mea nui o ka ʻenehana hou. Ma kēia mau kahua, ʻo ke kaʻina hana hoʻopaʻa (Bonding), ma ke ʻano he kī nui i ka hoʻoili ʻana i ka MEMS, he hana koʻikoʻi i ka hana a me ka hilinaʻi o ka hāmeʻa.

 

ʻO ka hoʻopaʻa ʻana he ʻenehana e hoʻohui paʻa i ʻelua a ʻoi aku paha mea ma ke ʻano kino a i ʻole kemika. ʻO ka maʻamau, pono e hoʻopili ʻia nā ʻāpana mea like ʻole e ka hoʻopaʻa ʻana i nā polokalamu MEMS e hoʻokō i ka kūpaʻa a me ka ʻike hana. I ke kaʻina hana o nā mea MEMS, ʻo ka hoʻopaʻa ʻana ʻaʻole ia he kaʻina hoʻopili wale nō, akā pili pono i ka paʻa wela, ka ikaika mechanical, ka hana uila a me nā ʻano ʻē aʻe o ka hāmeʻa.

 

Ma ka hoʻoponopono MEMS kiʻekiʻe, pono ka ʻenehana paʻa e hōʻoia i ka hoʻopaʻa paʻa ʻana ma waena o nā mea me ka pale ʻana i nā hemahema e pili ana i ka hana o ka mea hana. No laila, ʻo ka mana pololei o ke kaʻina hana hoʻopaʻa ʻana a me nā mea hoʻopaʻa kiʻekiʻe kiʻekiʻe nā kumu nui e hōʻoia ai i ka hopena o ka huahana i nā kūlana ʻoihana.

 

1-210H11H51U40 

Nā noi pili MEMS i ka ʻoihana semiconductor

I ka ʻoihana semiconductor, hoʻohana nui ʻia ka ʻenehana MEMS i ka hana ʻana o nā mea micro e like me nā sensors, accelerometers, pressure sensors, a me gyroscopes. Me ka piʻi nui ʻana o ka noi no nā huahana miniaturized, hoʻohui ʻia, a me ka naʻauao, ke hoʻonui nei ka pololei a me nā koi hana o nā mea MEMS. Ma kēia mau noi, hoʻohana ʻia ka ʻenehana hoʻopaʻa ʻana e hoʻopili i nā mea like ʻole e like me nā wafers silicon, aniani, metala, a me nā polymers e hoʻokō i nā hana kūpono a paʻa.

 

1. ʻO nā mea ʻike kaomi a me nā accelerometers
Ma ke kahua o nā kaʻa, aerospace, nā mea kūʻai uila, a me nā mea ʻē aʻe, hoʻohana nui ʻia nā mīkini paʻi MEMS a me nā accelerometers i nā ʻōnaehana ana a me nā ʻōnaehana. Hoʻohana ʻia ke kaʻina hana hoʻopaʻa no ka hoʻopili ʻana i nā ʻāpana silika a me nā mea sensor e hōʻoia i ka ʻike kiʻekiʻe a me ka pololei. Hiki i kēia mau mea ʻike ke kū i nā kūlana kūlohelohe koʻikoʻi, a hiki i nā kaʻina hana hoʻopaʻa kiʻekiʻe ke pale pono i nā mea mai ka wehe ʻana a i ʻole ka hana ʻino ʻana ma muli o nā loli wela.

 

2. Nā mea hana micro-optical a me nā hoʻololi ʻike MEMS
Ma ke kahua o nā kamaʻilio optical a me nā mea laser, ʻo ka MEMS optical device a me nā hoʻololi optical he mea nui. Hoʻohana ʻia ka ʻenehana hoʻopaʻa ʻana no ka hoʻokō pololei ʻana i ka pilina ma waena o nā polokalamu MEMS i hoʻokumu ʻia i ke silika a me nā mea e like me nā fibers optical a me nā aniani e hōʻoia i ka pono a me ka paʻa o ka hoʻouna ʻana i ka hōʻailona optical. ʻOi loa i nā noi me ke alapine kiʻekiʻe, ka bandwidth ākea a me ka hoʻouna ʻana i ka lōʻihi, he mea koʻikoʻi ka ʻenehana paʻa kiʻekiʻe.

 

3. MEMS gyroscopes a me ka inertial sensor
Hoʻohana nui ʻia nā MEMS gyroscopes a me nā mea ʻike inertial no ka hoʻokele pololei a me ka hoʻonohonoho ʻana i nā ʻoihana kiʻekiʻe e like me ka autonomous driving, robotics, a me aerospace. Hiki i nā kaʻina hana hoʻopaʻa paʻa kiʻekiʻe ke hōʻoia i ka hilinaʻi o nā mea hana a pale i ka hoʻohaʻahaʻa hana a i ʻole ka hana ʻole i ka wā lōʻihi o ka hana a i ʻole ka hana kiʻekiʻe.

 

Nā koi hana koʻikoʻi o ka ʻenehana hoʻopaʻa ʻana i ka hana MEMS

Ma ka hoʻoponopono MEMS, ʻo ka maikaʻi o ke kaʻina hana paʻa e hoʻoholo pololei i ka hana, ke ola a me ke kūpaʻa o ka hāmeʻa. I mea e hōʻoia ai i hiki i nā mea MEMS ke hana me ka hilinaʻi no ka manawa lōʻihi i nā hiʻohiʻona noiʻi like ʻole, pono e loaʻa i ka ʻenehana hoʻopaʻa ʻana i kēia mau hana koʻikoʻi:

1. Paʻa wela kiʻekiʻe
Nui nā kaiapuni noi i ka ʻoihana semiconductor i nā kūlana wela kiʻekiʻe, ʻoi aku hoʻi ma nā kahua o nā kaʻa, aerospace, a me nā mea ʻē aʻe.

 

2. Keʻaʻahu kiʻekiʻe
Hoʻokomo pinepine nā mea MEMS i nā hana micro-mechanical, a hiki i ka wā lōʻihi ke kuʻi a me ka neʻe ʻana ke hoʻopau i nā ʻāpana pili. Pono ka mea hoʻopaʻa paʻa e loaʻa i ka pale lole maikaʻi e hōʻoia i ka paʻa a me ka pono o ka hāmeʻa i ka hoʻohana lōʻihi.

 

3. Maʻemaʻe kiʻekiʻe

He koi koʻikoʻi ka ʻoihana semiconductor i ka maʻemaʻe waiwai. Hiki i nā mea haumia liʻiliʻi ke hoʻopōʻino i ka hana. No laila, ʻo nā mea i hoʻohana ʻia i ke kaʻina hana hoʻopaʻa ʻana pono e loaʻa ka maʻemaʻe kiʻekiʻe loa e hōʻoia ʻaʻole i hoʻopilikia ʻia ka hāmeʻa e ka ʻino o waho i ka wā o ka hana.

 

4. pololei ka hoʻopaʻa ʻana
Pono pinepine nā mea MEMS i ka micron-level a i ʻole nanometer-level ka pololei. Pono ke kaʻina hoʻopaʻa paʻa e hōʻoia i ka hoʻopaʻa pololei ʻana o kēlā me kēia papa o nā mea e hōʻoia ai ʻaʻole pili ka hana a me ka hana o ka hāmeʻa.

 

1-210H11H304549 1-210GFZ0050-L

Hoʻopaʻa anodic

Hoʻopili ʻanodic:
● E pili ana i ka hoʻopaʻa ʻana ma waena o nā wafers silika a me ke aniani, metala a me ke aniani, semiconductor a me nā mea hao, a me ka semiconductor a me ke aniani.
Eutectoid pili:
● Pili i nā mea e like me PbSn, AuSn, CuSn, a me AuSi

ka hoʻopaʻa ʻana i ke kāpili:
● E hoʻohana i ke kāpili paʻa kūikawā, kūpono no nā glues hoʻopaʻa kūikawā e like me AZ4620 a me SU8
● Pili i ka 4-inihi a me 6-inihi

 

ʻOihana Hoʻopaʻa Kuʻuna Semicera

Ma ke ʻano he alakaʻi alakaʻi ʻoihana o nā ʻōnaehana hoʻoponopono MEMS, ua kūpaʻa ʻo Semicera i ka hāʻawi ʻana i nā mea kūʻai aku me nā lawelawe hoʻopaʻa paʻa kiʻekiʻe kiʻekiʻe. Hiki ke hoʻohana nuiʻia kā mākouʻenehana hoʻopaʻaʻana i ka pilina o nā mea likeʻole, e like me ke silicon, ke aniani, ke kila, ka seramika, a me nā mea'ē aʻe, e hāʻawi ana i nā hoʻoponopono hou no nā noi kiʻekiʻe ma ka semiconductor a me ka MEMS.

 

Loaʻa iā Semicera nā lako hana kiʻekiʻe a me nā hui ʻenehana, a hiki ke hāʻawi i nā hoʻonā hoʻopaʻa paʻa maʻamau e like me nā pono kikoʻī o nā mea kūʻai. Inā pili pono ma lalo o ka mahana wela a me ke kaiapuni kiʻekiʻe, a i ʻole ka paʻa micro-device, hiki iā Semicera ke hoʻokō i nā koi kaʻina hana paʻakikī e hōʻoia i hiki i kēlā me kēia huahana ke kū i nā kūlana kiʻekiʻe loa.

 

ʻAʻole i kaupalena ʻia kā mākou lawelawe hoʻopili maʻamau i nā kaʻina hana hoʻopaʻa maʻamau, akā pū kekahi me ka hoʻopaʻa ʻana i ka metala, ka hoʻopaʻa ʻana i ka thermal compression, ka hoʻopili ʻana a me nā kaʻina hana ʻē aʻe, hiki ke hāʻawi i ke kākoʻo ʻenehana loea no nā mea like ʻole, nā hale a me nā koi noi. Eia hou, hiki iā Semicera ke hāʻawi aku i nā mea kūʻai aku me ka lawelawe piha mai ka hoʻomohala prototype i ka hana nui e hōʻoia i kēlā me kēia koi ʻenehana o nā mea kūʻai aku hiki ke hoʻokō pololei ʻia.