E like me kekahi o na mea nui oNā lako MOCVD, ʻO ke kumu graphite ka mea lawe a me ke kino wela o ka substrate, ka mea e hoʻoholo pololei i ka kūlike a me ka maʻemaʻe o ka mea kiʻiʻoniʻoni, no laila e pili pono ana kona maikaʻi i ka hoʻomākaukau ʻana o ka pepa epitaxial, a ma ka manawa like, me ka hoʻonui ʻana o ka helu hoʻohana a me ka hoʻololi ʻana o nā kūlana hana, he mea maʻalahi loa ia e ʻaʻahu, no nā mea hoʻohana.
ʻOiai ua loaʻa i ka graphite ka conductivity thermal maikaʻi loa a me ke kūpaʻa, he mea maikaʻi loa ia ma ke ʻano he kumu kumu oNā lako MOCVD, akā, i ka hana ʻana, e hoʻopau ka graphite i ka pauka ma muli o ke koena o nā kinoea corrosive a me nā mea hana metala, a e hoʻemi nui ʻia ke ola lawelawe o ka waihona graphite.I ka manawa like, ʻo ka hāʻule ʻana o ka pauka graphite e hoʻohaumia i ka chip.
Hiki i ka puka ʻana o ka ʻenehana uhi ke hāʻawi i ka hoʻoponopono ʻana i ka lepo, hoʻonui i ka conductivity thermal, a hoʻohālikelike i ka hāʻawi ʻana i ka wela, a ua lilo ia i ʻenehana nui e hoʻoponopono i kēia pilikia.Ke kumu graphite maNā lako MOCVDe hoʻohana i ke kaiapuni, graphite base surface coating pono e hoʻokō i kēia mau ʻano:
(1) Hiki ke hoʻopili piha ʻia ke kumu graphite, a maikaʻi ka paʻa, inā ʻaʻole e maʻalahi ke kumu graphite i ke kinoea corrosive.
(2) He kiʻekiʻe ka ikaika hui pū me ke kumu graphite e hōʻoia ʻaʻole maʻalahi ka hāʻule ʻana o ka uhi ma hope o nā pōʻai wela kiʻekiʻe a me nā haʻahaʻa haʻahaʻa.
(3) Loaʻa iā ia ke kūpaʻa kemika maikaʻi e pale aku i ka hāʻule ʻole o ka uhi ʻana i ka wela kiʻekiʻe a me ka lewa corrosive.
Loaʻa iā SiC nā pōmaikaʻi o ka pale ʻana i ka corrosion, kiʻekiʻe thermal conductivity, thermal shock resistance a me ka paʻa kemika kiʻekiʻe, a hiki ke hana maikaʻi i ka lewa epitaxial GaN.Eia kekahi, ʻokoʻa iki ka ʻokoʻa hoʻonui wela o SiC mai ka graphite, no laila ʻo SiC ka mea i makemake ʻia no ka uhi ʻana o ka base graphite.
I kēia manawa, ʻo ka SiC maʻamau ka nui o 3C, 4H a me 6H ʻano, a ʻokoʻa ka hoʻohana ʻana o SiC o nā ʻano kristal like ʻole.Eia kekahi laʻana, hiki i ka 4H-SiC ke hana i nā mea mana kiʻekiʻe;ʻO 6H-SiC ka mea paʻa loa a hiki ke hana i nā mea photoelectric;Ma muli o kona ʻano like me GaN, hiki ke hoʻohana ʻia ka 3C-SiC e hana i ka papa epitaxial GaN a hana i nā mea hana SiC-GaN RF.ʻO 3C-SiC ka mea maʻamauβ-SiC, a me ka hoʻohana nui oβ-ʻO SiC he kiʻiʻoniʻoni a me ka mea uhi, no lailaβ-ʻO SiC ka mea nui no ka uhi.
Ka manawa hoʻouna: Nov-06-2023